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KOSAKA 小坂研究所半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室
產(chǎn)品型號(hào):DSF-L800臺(tái)階儀臺(tái)階儀微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號(hào),開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測(cè)量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動(dòng)包裝機(jī)等自動(dòng)設(shè)備三個(gè)領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹

DSF-L800

高い分解能で広いダイナミックレンジの測(cè)定を可能にした、デジタル表面形狀?粗さ測(cè)定機(jī)です。

  • 変位検出器にデジタルセンサを組み込み、“輪郭形狀”と“表面粗さ”をワンスキャンで同時(shí)測(cè)定が可能。
  • より高度な解析機(jī)能、プラトー表面解析ソフトと接觸點(diǎn)フィルタを標(biāo)準(zhǔn)裝備。
  • 検出器過負(fù)荷停止機(jī)能標(biāo)準(zhǔn)裝備。
Z分解能/測(cè)定範(fàn)囲 0.75nm / ±6mm
Z検出方式  半導(dǎo)體レーザスケール
觸針 R2μm  0.7mN
解析項(xiàng)目 形狀解析(要素、スカラ量、統(tǒng)計(jì)量、マスタ比較、公差判定)
表面粗さ(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS)
表面うねり(JIS)




株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn):
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。



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KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)

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KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測(cè)量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測(cè)量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測(cè)裝置

KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測(cè)量?jī)x

KOSAKA小坂探針卡檢測(cè)設(shè)備

KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)

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