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KOFLOC小島全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF-550C
產(chǎn)品型號：DF-550C樂山
產(chǎn)品品牌：KOFLOC小島
產(chǎn)品介紹：

科賦樂從創(chuàng)業(yè)至今已有60 多年的歷史，深入挖掘人類的智慧，不斷深入技術(shù)**，尤其在氣體的測量、控制方面贏得社會各界的信賴近年來，又開發(fā)出液體測量控制方面的新設(shè)備，作為流體（氣體液體）界專家的科賦樂，重視匠人的精神，貼近客戶的需求，以創(chuàng)建豐富的地球環(huán)境為目標(biāo)不斷迎接挑戰(zhàn)。
詳細(xì)介紹


全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器




MODEL DF-550C SERIES


高性能數(shù)字MFC“DF-250C系列”的全金屬型號“DF-550C”發(fā)布！
金屬密封結(jié)構(gòu)可以測量和控制半導(dǎo)體工藝氣體和其他腐蝕性氣體。

  • 通過新型螺線管改善響應(yīng)速度，在所有流量區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1秒以內(nèi)高速響應(yīng)
  • 不銹鋼密封使其支持高活性氣體
  • 10SCCM~10SLM序列
  • 可通過2個通信端口進(jìn)行菊花鏈連接
  • 配備RS-485通訊功能標(biāo)準(zhǔn)
  • 支持RoHS.CE規(guī)格





DF-550C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方式 比例電磁閥（未通電時關(guān)閉）
目標(biāo)氣體（* 1） N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等
（未記載的氣體換算成N2進(jìn)行校正）
流量范圍（* 2） 10 SCCM~10 SLM
控制范圍 2~100％（F.S.）
響應(yīng)能力 總流量控制范圍 1sec內(nèi)（wihtin±2％F.S.）
L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
精度（* 3） ±1.0%F.S.
再現(xiàn)性 ±0.25%F.S.
工作壓差（* 4） 50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa）
*大入口壓力 500kPa(G)
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
溫度 使用溫度 5～50℃
精度保證溫度 15～35℃
允許儲存溫度 -10～60℃
允許環(huán)境濕度 10～90%RH （無結(jié)露）
氣體接觸材料 SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，Ni-Co
電氣連接 D-sub 9針KFC Standard（依據(jù)SEMI standard），RJ-45模塊化插孔x 2
流量設(shè)定信號 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ）
流量輸出信號 0~5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ以上）
數(shù)字通信 使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址：*多99臺（9600 bps）
所需電源（DC） +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接頭 相當(dāng)于1/4 VCR
安裝姿勢 推薦水平方向
重量（* 9） 約1100g

（* 1）應(yīng)為干燥氣體，無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。

（* 2）流量校準(zhǔn)單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。

（* 3）對于流量范圍（*大滿量程）的精度。

（* 4）工作壓差可能因規(guī)格而異。

如果有任何關(guān)于KOFLOC小島流量計(jì)的疑問，請隨時與我們溝通

我們將盡全力解決您的問題。

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下列型號均有售

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KOFLOC小島流量計(jì)分析儀器專用精密調(diào)節(jié)器 壓力調(diào)節(jié)閥MODEL 6600 SERIES
KOFLOC小島流量計(jì)液體專用流量計(jì)超音波流量計(jì) FML-500
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KOFLOC小島流量計(jì)帶顯示屏的數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF300DF550DF200DF250
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KOFLOC小島流量計(jì) 全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF350DF300DF200DF250 MODEL DF-550C SERIES
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