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沉積電源
ULVAC愛發(fā)科沉積電源大容量直流電源DC-10-AM
產(chǎn)品型號(hào): DC-10-AM
產(chǎn)品品牌:ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品介紹:
ULVAC愛發(fā)科
面向顯示器、太陽(yáng)電池、半導(dǎo)體、電子、電氣、金屬、機(jī)械、汽車、化學(xué)、食品、醫(yī)藥等行業(yè)以及大學(xué)、研究所等,提供真空設(shè)備、周邊機(jī)器、真空部品、材料的開發(fā)、制造、銷售、客戶服務(wù)等,以及各種器械的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。此外,提供各種真空技術(shù)相關(guān)的研究指導(dǎo)和技術(shù)顧問服務(wù)。
詳細(xì)介紹
國(guó)內(nèi)總代原裝進(jìn)口華東總代國(guó)內(nèi)辦事處ULVAC愛發(fā)科沉積電源大容量直流電源DC-10-AM 國(guó)內(nèi)各區(qū)域均有售
DC-10 和 DC-20 是用于濺射的 10 kW 和 20 kW 輸出直流電源。
它由可靠的組件和電路組成。 它是一種高度可靠的電源,反映了我們多年來(lái)在設(shè)計(jì)中積累的包括電源應(yīng)用在內(nèi)的專有技術(shù),是等離子負(fù)載的理想選擇。
長(zhǎng)處
輕巧、節(jié)省空間的設(shè)計(jì),安裝效果好,重量輕,節(jié)省空間
。
輸出電壓范圍可以選擇,除了800V規(guī)格外,
還提供1000V規(guī)格。
熟悉大量電弧處理
等離子體的多種電弧控制方法。
無(wú)需冷卻水:由于采用強(qiáng)制風(fēng)冷
系統(tǒng),因此不需要冷卻水。
它可以配備高速電弧切斷電路,即使作為標(biāo)準(zhǔn)配置也能實(shí)現(xiàn)
低電弧能量。 此外,還可以選裝高速電弧電路。
配備自由并聯(lián)運(yùn)行功能DC-10和DC-20:可選的并聯(lián)運(yùn)行功能允許通過自由組合10 kW
和20 kW,*多可并聯(lián)運(yùn)行12臺(tái)機(jī)組。 (高達(dá)240kW)
用
FPD濺射機(jī)
半導(dǎo)體濺射設(shè)備
觸摸屏濺射裝置
工業(yè)鍍膜濺射設(shè)備
規(guī)范
型
DC-10-AM
DC-10-H-AM型
DC-10-4-上午
DC-20-AM
DC-20-H-AM型
DC-20-4-AM
輸入規(guī)格
輸入電壓
三相AC187~229V
三相AC342~440V
三相AC187~229V
三相AC342~440V
輸入電容
13.5kVA以下
25kVA以下
輸出規(guī)格
*大額定功率
10kW
20kW
額定電流
25安培
28"
25安培
60"
40安培
60"
額定電壓
-800伏
-1000伏
-800伏
-800伏
-1000伏
-800伏
點(diǎn)火電壓
-1500伏
異常放電控制
當(dāng)檢測(cè)到異常放電時(shí),由高速電弧中斷電路中斷
控制
控制方式
恒功率控制(P控制)/恒流控制(I控制)/恒壓控制(V控制)
控制精度
恒功率控制(P控制):額定輸出的±0.5%以下或設(shè)定值的±1%,以較大者為準(zhǔn),恒流控制(I控制):額定輸出的±1%以下或設(shè)定值的±2%,以較大者為準(zhǔn):額定輸出的±1%以下或設(shè)定值的±2%,以較大
者為準(zhǔn)
。
控制保修范圍
額定功率的10~100%
外部控制
模擬/數(shù)字,RS-232C 或 485
并聯(lián)操作
*多 12 個(gè)單位(10、10H、-4 的混合,以及不混合 20、20H、-4)
冷卻方式
強(qiáng)制風(fēng)冷
尺寸 W×D×H
483×630×133mm(不含突起部分)
質(zhì)量
29公斤
36公斤
法規(guī)遵從性
CE / SEMI F47 / RoHS認(rèn)證
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